高性能电阻型柔性压力传感器研究进展(续)

• 作者: 白成 耿达 周伟 陈松月
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 技术论坛|Technology Forum
• 页码范围: 659-668,692
• 页数: 11页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.08.001

摘要

3 电阻型柔性压力传感器的应用 在压力检测应用中,基于检测原理将柔性压力传感器分为电阻式[158]、电容式[159-160]、压电式[161]和摩擦发电式[162-164].电容式传感器具有出色的灵敏度和线性度[100],但是必须覆盖屏蔽层来降低器件对于电磁干扰的敏感性[165].压电式传感器响应速度快、无需外部供电,但是难以检测静态力[166].摩擦发电式传感器结构简单、可自供能、输出电压高[167],但是难以检测静态力[164],易受外部环境干扰.电阻式传感器由于微结构的引入有效降低了材料粘弹性以及温度干扰[45],改善了响应时间和灵敏度[168],信号读取机制简单,同时减少了器件之间的信号串扰,但是需要配置电源供能,尤其作为医疗植入式器件存在不足.