基于顶栅调控界面的石墨烯高增益光电探测器

• 作者: 樊安琪 孙久勋
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 硅 光电探测器 仿真模型 顶栅调控 增益
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 814-817
• 页数: 4页
• 分类号: TN15
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2021071402

摘要

利用Silvaco TCAD软件对石墨烯作为新一代二维半导体材料具有的光学电学特性进行仿真建模,计算得到了不同掺杂类型石墨烯的转移特性曲线.进而对基于顶栅调控的石墨烯-硅光电导型光电探测器进行了建模与仿真,发现顶栅电压可以通过调控石墨烯载流子类型及浓度来改变石墨烯与硅异质结的内建电势,实现提高增益的目的.基于此制备了栅控石墨烯-硅光电探测器并测得与仿真结果一致的规律,实验中该器件在1 550 nm波段展现出良好的光电性能.研究结果对红外光电探测器的性能优化具有指导意义.