单芯体硅-蓝宝石压差传感器研制

• 作者: 王俊巍 马明宇 谢胜秋 王明伟
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 硅-蓝宝石芯体 一体式 柱塞头 压差传感器
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 80-82,85
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.11
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)04-0080-03

摘要

根据航空发动机系统的应用环境研制一种单芯体压差传感器,传感器基于蓝宝石衬底上硅的压阻效应进行测量.与目前市场常见含油封单芯体压差芯体不同,其芯片直接烧结在膜片上,芯片通过感受金属膜片正反受力形成的合力来测量压差信号,避免了含油封芯体油介质不能耐高温和大背压过载的缺点,大幅提高了传感器耐高温能力和长期承压的可靠性.本文介绍了单芯体硅-蓝宝石压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体结构设计和电路设计等.传感器通过性能试验及环境适应性试验的考核,并在发动机上随整机进行了相关热试车试验,结果证明传感器能够满足发动机使用要求.