碳纳米管与金属电极异质连接及其电学性能的研究进展

• 作者: 梅欢欢 崔健磊 程杨 何小桥 梅雪松
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 材料 激光 半导体集成 碳纳米管 金属电极 异质连接 电学性能
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 课题三 三维跨尺度纳米操作和激光可控纳米连接的工艺技术与装备及应用|Task 3 Processing Technology , Equipment and Applications of Three-Dimensional Trans-Scale Nano Manipulation and Controllable
• 页码范围: 258-280
• 页数: 23页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0802023

摘要

随着半导体集成电路的高速发展,不断减小的半导体器件的特征尺寸成为制约电子产业发展的主要瓶颈,进而催生了对新型半导体材料越来越多的需求.碳纳米管因其独特的电学、力学、化学稳定性等成为了理想的下一代电导线材料.然而,在碳纳米管与金属异质电极之间建立可靠且有效的连接较难实现,这使碳纳米管的应用面临着巨大的挑战.针对这一问题,详细概述了碳纳米管与金属电极之间的几何接触形式、界面接触行为、互连技术及其电学性能的最新研究进展.