基于聚偏氟乙烯的触力传感器结构优化分析

• 作者: 陈婷 袁严辉 顾晓勤
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 聚偏氟乙烯 触力传感器 有限元分析 材料体系 控制变量
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 834-838
• 页数: 5页
• 分类号: TB33
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2021020601

摘要

以聚偏氟乙烯(PVDF)作为触力传感器的敏感元件,通过控制变量的方法探究了PVDF触力传感器的上下衬底材料的类型和厚度对传感器灵敏度的影响.通过对压电材料的压电方程的理论计算,得到触力输入与电压输出的关系.有限元分析结果表明,上下衬底材料的厚度和弹性模量对触力传感器的灵敏度影响较大.当采用0.025 mm的PDMS作为上下衬底材料时,触力传感器的灵敏度达到0.527 mV/N.