飞秒激光烧蚀光斑图像的周期灰度变化分析

• 作者: 王福斌 孙志林 刘梦竹 Paul Tu
• 来源期刊: 激光杂志
• 关键词: 飞秒激光 光斑图像 激光烧蚀 图像灰度
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 图像处理
• 页码范围: 126-129
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2021.03.126

摘要

在不同的飞秒激光烧蚀功率下,由于核心烧蚀区被烧蚀掉的材料体积不同,使得衍生的等离子体发光强度也不同.因此,有必要研究序列烧蚀光斑图像灰度变化与烧蚀工艺之间的关系.首先,连续采集2400帧光斑图像,获得光斑图像的灰度周期变化曲线,并对曲线进行小波去噪处理;其次,分析光斑图像周期性灰度变化曲线与烧蚀加工周期间的关系;再次分析了不同烧蚀状态下的光斑图像熵与光斑图像灰度间的对应关系;最后,分析了同一烧蚀功率,不同烧蚀时刻下烧蚀光斑图像灰度变化的稳定性.研究结果表明:烧蚀光斑灰度的周期变化与激光工作台的周期运动一致.在工作台向左或向右运动时,烧蚀过程是稳定的,光斑较亮.而在左右端点处,烧蚀光斑灰度值较低.