真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响

• 作者: 曾志锋 阮毅 谢泽兵
• 来源期刊: 机电工程技术
• 关键词: 真空溅射镀膜机 工作气体 色差
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发|Research and Development
• 页码范围: 151-152,165
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2021.04.039

摘要

真空溅射镀膜机镀件的色差是衡量一件镀件质量好坏的重要的指标,也是评估一台设备质量的重要技术指标.影响镀件色差有多种因素,工作气体是其中一个重要因素.从真空溅射机的工作原理、工作气体对膜层的影响及试验研究入手,从气体压力和气体分布均匀性两个方面探讨了真空溅射机镀膜过程中工作气体对镀件色差的影响.为镀件色差分析、真空溅射镀膜机工作气体进气管的设计和镀件质量的提高提供了新的思路和参考.