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摘要:
采用磷注入法合成磷化铟(InP)熔体,用液封直拉(LEC)法生长了不同化学配比的掺铁(Fe)InP单晶.用红外吸收光谱研究了化学配比对掺Fe InP单晶中Fe激活效率的影响.结果表明,富磷条件下Fe的激活效率高于配比及富铟条件,分析其影响机理,认为与不同配比条件下铟空位(VIn)的形成能有关.通过第一性原理计算了不同配比条件下VIn和中性态缺陷Fe0In的形成能,发现富铟条件VIn和Fe0In的形成能最高,分别为5.28 eV和-3.50 eV,配比条件VIn和Fe0In的形成能次之,分别为3.99 eV和-5.22 eV,而富磷条件VIn和Fe0In的形成能最低,分别为2.84 eV和-6.83 eV.此外,还计算了费米能级EF在InP的禁带宽度内,带电态缺陷FeI-n1与EF的关系.发现在相同EF下,富磷条件下FeI-n1的形成能均小于配比和富铟条件下FeI-n1的形成能.因此,富磷条件使得晶体中VIn浓度升高,致使Fe杂质更容易以替铟位的形式存在,导致Fe的激活效率更高.
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关键词云
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文献信息
篇名 化学配比对掺铁InP中铁激活效率的影响
来源期刊 电子元件与材料 学科
关键词 InP 液封直拉(LEC)法 化学配比 缺陷 Fe激活效率
年,卷(期) 2021,(7) 所属期刊栏目 研究与试制|Research & Development
研究方向 页码范围 654-659
页数 6页 分类号 TN304.2
字数 语种 中文
DOI 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.0118
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InP
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