集成电路光刻工艺虚拟仿真实验教学建设

• 作者: 兰馗博 赵毅强 张宁 程思璐 秦国轩
• 来源期刊: 实验室科学
• 关键词: 集成电路 光刻 虚拟仿真 实践教学 新工科建设
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 实验教学|Experiment teaching
• 页码范围: 145-148,153
• 页数: 5页
• 分类号: G42
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2021.04.040

摘要

针对集成电路工艺实验教学中存在的大型设备短缺、 场地经费受限、 实验条件苛刻等问题,提出了搭建具备选课、资源库、答疑室和教学评价等功能的开放式教学管理信息化平台.阐述了集成电路光刻工艺在虚拟仿真技术中的典型应用,充分发挥了虚拟仿真实验的生动、直观、安全等优点,激发了学生学习的积极性和主动性,培养了学生的创新精神和工程实践能力,满足了新工科背景下的金课建设需求.