高精度海洋温/盐/酸度集成微纳传感器制造与测试

• 作者: 胡凯凯 尹加文 麦裕良 栾安博 郜晚蕾 金庆辉
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 海洋温/盐/酸度 微纳传感器 微机电系统(MEMS)技术 批量制造 高精度网格化测量
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)01-0074-04

摘要

面向"智慧海洋"应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器.温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系.采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,测量精度达到±0.01℃;电导率传感器在0.01 mol/L KCl溶液中精度为±0.0005 S/m;pH传感器灵敏度为42.86 mV/pH.由于采用微机电加工技术,传感器尺寸小、成本低、可批量制造,将为海洋环境参数的高精度网格化测量提供核心传感器.