半导体行业特种气体气源柜研发及应用

• 作者: 曹文林
• 来源期刊: 化工设计通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体行业 特种气体 气源柜 研发 应用
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 新材料与新技术
• 页码范围: 27-28
• 页数: 2页
• 分类号: TQ083.4
• 语种: 中文

摘要

在半导体行业器件生产过程中,气源柜是输送、控制特种气体的重要设备.近年来,随着我国光伏发电、平板显示器、超大规模集成电路等产业的迅速发展,拉动电子气的需求,对气源柜的要求也更高.设计特种气体气源柜的关键,是以保证气源安全使用为基础,提升生产效率,同时为客户提供方便.根据特种气体的性质及使用环境,研发设计特种气体气源柜,使其应用于半导体行业.