一种工程化微机电加速度计研制

• 作者: 马智康 赵亭杰 刘国文 李兆涵 刘宇 徐宇新
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微机电加速度计 "三明治"结构 电容检测
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 88-90
• 页数: 3页
• 分类号: TP212|U666.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)01-0088-03

摘要

提出一种"三明治"电容式检测原理的闭环微机电加速度计敏感结构,并对该敏感结构基础电容及微机电加速度计量程、标度因数等主要指标进行了设计,通过模态仿真验证了该结构参数对工作模态和干扰模态之间频率隔离的有效性.设计了分立电路闭环整表双腔封装/组装方案,实现了微机电加速度计整表样机,并对该样机量程和一次通电稳定性指标进行了测试.测试结果表明:该加速度计实现了量程大于±50 gn,一次通电稳定性(1 h,1σ)达到了5.97×10-5gn.