涂层材料激光剥蚀电感耦合等离子体质谱深度剖析进展

• 作者: 胡圣虹 张鼎文 张丽萍 靳兰兰 郭伟
• 来源期刊: 冶金分析
• 学科: 化学
• 关键词: 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS) 深度剖析 深度分辨率 剥蚀池 涂层材料
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 页码范围: 39-49
• 页数: 11页
• 分类号: O657.31|TF03+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.011596

摘要

不同组成和厚度的涂层材料能够满足使用均质材料不能满足的关键需求,因而受到了越来越多的关注,因此需要发展一种快速准确的深度剖析技术以对涂层材料的元素组成和分布情况进行表征.文章主要介绍了激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(Laser ablation induc-tively coupled plasma mass spectrometry,LA-ICP-MS)深度剖析技术,详细阐述了LA-ICP-MS深度剖析技术的基本原理、相较于其他分析技术的优势和深度分辨率的计算方法,总结了激光剥蚀参数、涂层材料厚度和剥蚀池的几何形状这3个方面对多层涂层材料深度剖析和深度分辨率的影响,介绍了LA-ICP-MS深度剖析技术在陶瓷涂层、金属镀层材料、玻璃和聚合物涂层分析中的应用实效.