55CIS技术平台的N型STI隔离电阻测试研究

• 作者: 魏峥颖 王靓
• 来源期刊: 集成电路应用
• 关键词: 集成电路测试 WAT 探针台 信号线 噪声
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造|Process and Fabrication
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TN407
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2021.08.011

摘要

阐述晶圆可接受测试(WAT)是晶圆代工厂在出货前的一道重要工序.WAT测试结果的精准度决定着晶圆片能否顺利出货.因此,WAT工程师的一项重要工作是提高WAT测试的精确度以及减少测试问题.探讨chuck载物台以及信号线对于测试电阻及其他参数的影响,提出一种提高测试仪器精确度以及测试系统的评估方法.