照明系统中的消相干光束整形设计方法

• 作者: 徐建旭
• 来源期刊: 集成电路应用
• 关键词: 控制技术 激光 高斯光束 均匀光束 相干 消相干
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 创新应用|Applications
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TN248
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2021.03.013

摘要

分析表明,激光器发出的激光束的空间强度呈高斯分布,即高斯光束,在以激光器为光源的照明系统中,需要将高斯光束整形为均匀光束,光束均匀性直接影响激光加工的均匀性及重复性.在对激光光束进行整形的过程中,面临一个关键的问题就是激光由于干涉的影响,整形后光束均匀性不能达到预期的效果.针对此问题,介绍消除干涉的光束整形方案,以及相应的实现方法及效果.