自由悬浮的动子托盘大幅简化敏感元件的输送

• 作者: BECKHOFF
• 来源期刊: 现代制造
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 走进行业
• 页码范围: 44-45
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

等离 子 体 处 理 装 置 可 以 将 不 同材 料 的 表 面 处 理 分 为 两 个 阶段,Plasmatreat 的设计负责人 Jochen Stichling 阐述道 :"在第一阶段,基板被移动到喷嘴下方进行清洁和活化.在第二阶段,用喷嘴喷涂功能性涂层."他解释,公司在这方面一直专注于创新 :"我们需要一个处理速度快、完全可编程且无磨损的系统来输送工件.而在定制化编程轨迹和行程方面,倍福的 XPlanar平面磁悬浮输送系统是不二之选."