1064 nm侧向微结构宽脊波导半导体激光器

• 作者: 齐军 邹永刚 范杰 杨晶晶 刘莹 马晓辉
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光器 半导体激光器 侧向微结构 侧向模式 阈值增益 近场光斑
• 年，卷（期）: 2021,（13）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理|Laser Devices and Laser Physics
• 页码范围: 39-46
• 页数: 8页
• 分类号: TN365
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.1301003

摘要

1064 nm半导体激光器在光纤通信系统方面有重大应用,但随着脊波导宽度增加,出现输出模式增加,近场光斑"多瓣"现象,导致其光束质量降低,影响其光纤耦合效率.为此提出一种侧向微结构宽脊波导半导体激光器,根据其腔内各阶侧模光场分布特点,在宽脊两侧引入微结构,以此增大高阶侧模衍射损耗,提高高阶侧模阈值增益,增大基侧模与高阶侧模的阈值增益差,消除近场光斑"多瓣"现象,改善侧向光束质量.在条宽120 μm、腔长1 mm的结构参数下,制作了宽脊波导半导体激光器和具有侧向微结构的激光器件.测试结果表明,在输入电流为0.5A时,与宽脊波导半导体激光器相比,引入侧向微结构后器件输出功率提升了58.5％,斜率效率提升了80％,电光转换效率提升了55.9％.