非晶合金微力传感器

• 作者: 张凯翔 马明哲 刘泽
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微力传感器 非晶合金 微纳机电系统 微成型
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)05-0067-04

摘要

非晶合金具有高强度、高弹性极限等优异的力学性质以及独特的可热塑性成形特性.基于设计的双悬臂探针,制备了一种非晶合金微力传感器.利用所制备的微力传感器,在显微镜下可方便地实现微纳米尺寸试样或部件侧弯作用下的载荷—位移曲线的快速获取.该微力传感器测试原理简单,不需要额外的测试电路设计,具有线性度好、可重复性高、量程大等特点.