应用于真空镀膜设备的视窗失效分析及改进方案

• 作者: 吕国振 郝伟 王志海
• 来源期刊: 装备制造技术
• 关键词: 视窗 光电传感器 镀膜材料 透光率
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 应用与优化
• 页码范围: 155-158
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-545X.2021.01.043

摘要

对视窗被广泛应用于真空镀膜设备视窗失效的情况分析,找到视窗失效的主要原因是,视窗吸附并沉积的镀膜材料越来越多,导致透光率越来越低,造成光电传感器无法正常工作,提出了一种改进方案并应用于实践,取得了显著的改善效果.