基于人工智能技术的光学超精密检测技术

• 作者: 王琦 谭娟
• 来源期刊: 激光杂志
• 关键词: 人工智能 光学 超精密 检测技术 机械学习 干涉测量 共聚焦 微米级
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 光电技术与应用
• 页码范围: 156-160
• 页数: 5页
• 分类号: TN297
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2021.02.156

摘要

机械零件的光学超精密检测可提升零件的经济效益,为提升机械零件的光学超精密检测精度,研究基于人工智能技术的光学超精密检测技术,在机械零件的光学超精密检测中赋予人工智能机械学习模式,将机械记录的每次人为移动机械零件的动作和位置信息、光照强度等信息作为输入量进行机械计算,并将输出信息和输入量保存在存储器中.采用光学白光干涉测量和共聚焦测量技术,检测一次机械零件微米级以上宏观运动或微米级以下微观运动,根据检测光路光电探测器接收的光强大小获取检测零件各点的高度数值,在此基础上通过执行机械学习模式,在存储器中检索获取机械零件宏观运动或微观运动的全部动作和位置信息、光照强度等信息,学习得到待检测机械零件各处相对焦平面距离,实现机械零件的全面光学超精密检测.实验结果表明,该种方法可无损进行机械零件光学超精密检测,且检测误差率和检测用时较短,可用于大范围机械零件光学超精密检测.