新型柔性非对称压电微夹钳设计

• 作者: 陈晓东 胡思雅 邓子龙 高兴军
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微夹钳 设计 有限元分析 实验验证
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 75-77
• 页数: 3页
• 分类号: TH112
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)05-0075-03

摘要

针对100～200μm的微管组件微装配的要求,设计并研究了一种基于柔性铰链的新型非对称柔性压电微夹钳.通过理论计算以及有限元分析微夹钳的夹持位移、夹持力以及夹持精度.利用压电驱动作为微夹钳的输入驱动,实验结果验证了理论计算以及有限元分析的正确性.非对称柔性压电微夹钳的位移放大比为4.55,与有限元分析结果和理论计算结果相比,误差分别为4.22％和8.43％,证实了设计的有效性.