用于沉积金属铼的化学气相沉积设备研制

• 作者: 王亮 沈桥
• 来源期刊: 机械工程与自动化
• 关键词: 铼 化学气相沉积 CVD
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 机械设计
• 页码范围: 114-116
• 页数: 3页
• 分类号: TH6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6413.2021.02.044

摘要

阐述了一种用于工件表面沉积金属铼材料的化学气相沉积(CVD)设备,该设备由前驱体升华及输送系统、反应热解区、氯化物再生及冷凝收集区、真空及尾气处理系统组成,可用于铼/铱发动机燃烧室喷管中铼基材的制备,可有效减少氯气排放,并防止铼在工件表面以外区域的沉积.