柔性压阻式压力传感器的研究进展

• 作者: 李凤超 孔振 吴锦华 纪欣宜 梁嘉杰
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 柔性压阻式压力传感器 传感原理 传感应用
• 年，卷（期）: 2021,（10）
• 所属期刊栏目: 专题: 柔性电子|SPECIAL TOPIC—Flexible electronics
• 页码范围: 1-18
• 页数: 18页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.70.20210023

摘要

柔性压阻式压力传感器作为柔性压力传感器的重要分支,具有结构简单、灵敏度高、工作范围大、响应速度快及稳定性高等特点,在人类运动行为探测、健康监测、仿生电子皮肤开发及人机交互等领域均具有潜在发展需求.但是截至目前,如何同时实现低成本、高性能、低能耗和自驱动仍旧是柔性压阻式压力传感器未来所面临的挑战,而新型传感机制的开发、新型功能化纳米材料的融合及柔性器件的新型制备工艺将是未来发展的方向.本文综述了近年来柔性压阻式压力传感器的研究进展,从传感机制出发,对柔性压阻式压力传感器的活性层材料种类和微结构设计类型进行了总结,最后对其未来的潜在应用进行了展望.