基于MOS传感器阵列对有害混合气体的检测研究

• 作者: 王萧行 张卫强 金庆辉 黄朝柱 唐浩
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 金属氧化物半导体 传感器阵列 混合有害气体 随机森林 定量分析
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨|Research & Approach
• 页码范围: 24-26,29
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)06-0024-03

摘要

金属氧化物(MOS)对挥发性有机化合物(VOCs)气体普遍存在着交叉敏感性问题,因此单个传感器无法准确做到对混合气体的定量分析.为解决这一问题,设计了基于多种金属氧化物半导体的传感器阵列,并搭建硬件系统平台,运用三种算法对实验采集到的35组苯和甲醛的混合气体数据进行对比分析与展现.实验结果表明:所提金属氧化物阵列结合随机森林算法进行后端数据处理对混合气体分类预测效果最好,整体预测准确率达到95％以上.