一种UVA型光产酸剂

• 作者: 廖恒
• 来源期刊: 广东化工
• 关键词: 光产酸剂 UVA 超强酸 光致抗蚀剂 LED
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 试验与研究|Experiment & research
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TQ
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1865.2021.08.007

摘要

本文合成了一种以硫杂蒽酮为基核的光产酸剂,该光产酸剂对UVA段紫外光敏感,光解可以产生超强酸,且在365、385、395 nm LED光源下具有良好的光产酸效率,光产酸量子产率Φa为0.10～0.11.