一种基于MEMS倾角测量仪的设计与验证

• 作者: 李冰 韩彦东
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 关键词: 倾角仪 微电子机械系统 高精度 误差补偿
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与开发|R&D of Instruments and Apparatus
• 页码范围: 75-79
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.19927/j.cnki.syyt.2021.02.016

摘要

在MEMS传感器的基础上设计并制作了具有大量程、高精度的倾角仪.测量单元采用3个正交的MEMS加速度传感器,在保证测量精度的同时加大了倾角的测量范围.硬件设计分别采用线性电源、高频控制芯片及高分辨率模数转换芯片实现倾角仪的小型化.对倾角仪测量时的测量误差通过建模提出了多位置标定补偿技术、分段式温度补偿技术及现场快速标定技术,实时保证倾角仪具备较高的测量精度.通过三轴温控转台对提出的3种标定方法进行了实验验证,不但证明了3种标定技术的有效性及实用性,且对倾角仪的标定精度均可达0.01°.