基于原子层沉积技术制备氧化钽薄膜及其特性研究

• 作者: 明帅强 文庆涛 高雅增 闫美菊 卢维尔 夏洋
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: 原子层沉积 氧化钽薄膜 乙醇钽 生长速率 粗糙度
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 无机非金属及其复合材料|INORGANIC MATERIALS AND CERAMIC MATRIX COMPOSITES
• 页码范围: 6042-6047
• 页数: 6页
• 分类号: TB321
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/cldb.19120213

摘要

本工作以单晶硅为衬底,乙醇钽和水分别为钽源和氧源,研究原子层沉积技术制备氧化钽薄膜的工艺,考察了乙醇钽温度、衬底温度、脉冲时间等工艺条件对氧化钽薄膜的生长速率、粗糙度和表面形貌等特性的影响.通过椭偏仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜以及高分辨X射线光电子能谱测试分析表明,制备获得的氧化钽薄膜表面光滑,粗糙度小于1 nm,薄膜生长速率受工艺参数的影响较大,其中在乙醇钽源瓶温度170℃、脉冲时间0.1 s以及衬底温度200℃时,氧化钽的生长速率为0.253?/cycle.本工作基于原子层沉积高性能氧化钽薄膜的工艺研究,将对氧化钽薄膜在介质材料、存储介质以及光学涂层等领域的应用奠定基础.