伪火花放电的物理机制与应用综述

• 作者: 闫家启 申赛康 孙国祥 丁卫东
• 来源期刊: 电工技术学报
• 关键词: 伪火花放电 物理机制 伪火花开关 电子束源 极紫外光源
• 年，卷（期）: 2021,（11）
• 所属期刊栏目: 高电压与放电
• 页码范围: 2408-2423
• 页数: 16页
• 分类号: TM89
• 语种: 中文
• DOI: 10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.200262

摘要

伪火花放电是一种工作于巴申曲线左半支、引燃于空心阴极结构、具有弥散的主放电通道的特殊低气压放电,在脉冲功率和等离子体等领域得到广泛应用.该文综述了近年来有关伪火花放电物理机制和典型应用的研究.首先分析伪火花放电主要过程的典型特征、微观机制和影响因素,依次为预放电、空心阴极放电、超密集辉光放电和真空电弧放电四个阶段;其次讨论当前伪火花放电研究中仍存在的问题,如电流淬灭和阻抗波动等;然后介绍伪火花放电的典型应用,包括伪火花开关、电子束源、极紫外光源等,并着重介绍相关装置的参数水平和技术特点;最后探讨伪火花放电研究今后的发展趋势.