基于层叠式夹持超薄蓝宝石晶片双平面加工实验研究

• 作者: 陈芝向 袁巨龙 杭伟 王勤峰 许良 吕冰海
• 来源期刊: 表面技术
• 关键词: 层叠式 超薄蓝宝石 双平面加工 平面度 抛光
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 精密与超精密加工|Precision and Ultra-precision Machining
• 页码范围: 340-347
• 页数: 8页
• 分类号: TG356.28
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.05.038

摘要

目的 针对超薄蓝宝石晶片的双平面加工,研究基盘表面高度差对工件平面度的影响,确定双平面加工超薄蓝宝石晶片的有效性.方法 通过多种方式得到具有不同表面高度差(高度差分别为5.3、9.8、19.9、29.7μm)的基盘,利用层叠式夹持方法对超薄蓝宝石晶片进行夹持(厚度0.17 mm)并进行双平面加工,获得不同高度差下的工件平面度.分别采用层叠式夹持方法及石蜡粘接的方法对超薄蓝宝石晶片进行双平面加工,通过对比实验验证层叠式夹持方法的有效性.结果 在4种不同表面高度差下加工的超薄蓝宝石晶片,其平面度随着高度差的增大而增大,但其增大的趋势远小于基盘平面度变化的趋势.层叠式夹持方式及石蜡粘接方式均可实现超薄蓝宝石的双平面加工,两者相差较小,层叠式夹持方式最终可获得表面粗糙度Ra=1.4 nm、平面度PV=0.968μm的光滑表面.结论 基盘表面高度差应不低于超薄蓝宝石晶片的目标平面度,层叠式夹持方式在加工效果上与石蜡粘接方式相当,但单位时间内的加工效率高于石蜡粘接方式,具有较好的工程应用前景.