多孔材料的低温刻蚀技术

• 作者: 张权治 张雷宇 马方方 王友年
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 低温等离子体 多孔材料 等离子体损伤 低温刻蚀 孔填充
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 专题:等离子体物理及其材料处理|SPECIAL TOPIC—Several problems in plasma physics and material treatment
• 页码范围: 99-109
• 页数: 11页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.70.20202245

摘要

随着半导体芯片特征尺寸的持续减小,低介电常数的多孔材料在微电子领域得到广泛应用.然而,多孔材料在等离子体刻蚀工艺中面对严峻的挑战.等离子体中的活性自由基很容易在多孔材料内部扩散,并与材料发生不可逆的化学反应,在材料内部造成大面积损伤.本文介绍了业内比较前沿的低温刻蚀技术,通过降低基片台的温度,使得刻蚀产物或者刻蚀前驱气体在多孔材料内部凝结成液态或者固态,进而在等离子体刻蚀过程中,阻止活性自由基在材料内部的扩散,保护多孔材料免受损伤.刻蚀完毕后,再通过升高基片台的温度,使凝结物挥发,得到完整无损的刻蚀结构.这一刻蚀技术只需要控制基片台的温度,无需增加工艺的复杂度以及调整等离子体状态,在半导体工艺中具有较好的应用前景.