常压针-板放电等离子体密度演化

• 作者: 冯博文 王若愚 马雨彭雪 钟晓霞
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 常压等离子体 针-板放电 电子密度 放电体积
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 专题:等离子体物理及其材料处理|SPECIAL TOPIC—Several problems in plasma physics and material treatment
• 页码范围: 122-132
• 页数: 11页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.70.20201790

摘要

分别采用Stark展宽法、图像法诊断等离子体电子密度,研究常压针-板放电等离子体电子密度随放电参数的演化.实验结果表明,降低电源的脉冲频率,减小等离子体的电极间距和采用细径电极,都有助于提高等离子体密度.利用全局模型分析影响电子密度变化的因素可知,随着脉冲频率的下降,等离子体放电体积减小,导致电子密度上升.在电极间距减小的过程中,电子密度变化则是降低等离子体吸收功率与减小放电体积共同作用的结果,其中放电体积的减小起到了更为主导的作用,导致电子密度上升.此外,采用细径电极也可以使等离子体放电体积减小,从而有利于获得较高的电子密度.