大位移并联平面三自由度微定位平台设计

• 作者: 韩慧 刘丽
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微定位平台 大行程 并联 仿真分析
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 73-75
• 页数: 3页
• 分类号: TH112|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)06-0073-03

摘要

微定位平台是能够实现微米级别定位或调整精度的柔性微动系统.扩大运动行程、提高固有频率是微定位平台的主要研究问题,通过三个放大机构相互制约,相互影响,设计一种大行程、高刚度、结构紧凑的平面三自由度微定位平台.平台的驱动方式采用压电驱动,压电陶瓷采用并联的方式.介绍了该平台的建模、计算和仿真分析.设计的平台的X和Y方向运动范围为185.8 μm.载物台为边长32 mm的等边三角形,有效提高了结构的刚度和稳定性.