新型超高纯CuMn合金溅射靶材的微观组织表征

• 作者: 王少平 姚力军 钟伟华 杨辉
• 来源期刊: 世界有色金属
• 关键词: 铜合金 溅射靶材 显微组织 台阶覆盖率
• 年，卷（期）: 2021,（10）
• 所属期刊栏目: 前沿技术|Leading-edge technology
• 页码范围: 115-116
• 页数: 2页
• 分类号: TG146.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5065.2021.10.055

摘要

本文研究了交叉轧制变形态高纯Cu-0.8at％Mn合金的显微组织和织构.结果显示,该6N(纯度99.9999％)CuMn合金(100)和(110)晶面择优取向,小角度晶界占比达76％.