电荷耦合效应对高耐压沟槽栅极超势垒整流器击穿电压的影响

• 作者: 徐大林 王玉琦 李新化 史同飞
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 沟槽栅极超势垒整流器 电荷耦合效应 击穿电压 阶梯栅氧
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质|CONDENSED MATTER: ELECTRONIC STRUCTURE, ELECTRICAL, MAGNETIC, AND OPTICAL PROPERTIES
• 页码范围: 298-305
• 页数: 8页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.70.20201558

摘要

通过沟槽结构和可调节的电子势垒,沟槽栅极超势垒整流器可以更为有效地实现通态压降和反向漏电流之间的良好折衷.在高压应用时,电荷耦合效应对于提高该器件的反向承压能力起到了关键作用.本文通过理论模型与器件模拟结果,分析了沟槽深度、栅氧厚度和台面宽度等关键参数对电荷耦合作用下二维电场分布的影响,归纳出了提高该器件击穿电压的思路与方法,为器件设计提供了有意义的指导.在此基础上,提出了阶梯栅氧结构,该结构在维持几乎相同击穿电压的同时,使正向导通压降降低51.49％.