基于硅微孔阵列自滤光肖特基二极管光探测器的研究

• 作者: 张涛 于永强
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: Silvaco TCAD 硅微孔阵列 肖特基结 石墨烯 自滤光
• 年，卷（期）: 2021,（13）
• 所属期刊栏目: 电子测量
• 页码范围: 60-63,6
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-5059.2021.13.017

摘要

本文以构建自滤光肖特基光探测器为目的,利用Silvaco TCAD三维仿真设计探究微孔陷光结构对光探测器性能影响,通过光刻和感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀等微加工工艺,制备硅微孔阵列结构,湿法转移石墨烯电极,构建了硅微孔阵列/石墨烯肖特基二极管.光电特性表征发现,器件具有自滤光、可见光盲的近红外窄带响应,1064 nm为中值波长,且半峰宽为96 nm左右的自滤光窄带近红外响应特性,探测率高达3×1012Jones,响应度达0.39A/W,高于普通plane Si/Gr肖特基二极管光探测器7倍以上.