耐高温HTCC无源振动传感器设计与仿真研究

• 作者: 贾蔓谷 熊继军 李晨
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 无线非接触测量 无源振动传感器 ANSYS Workbench仿真 高温共烧陶瓷(HTCC) 超高温环境
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨|Research & Approach
• 页码范围: 26-29,33
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)09-0026-04

摘要

提出了一种高温共烧陶瓷(HTCC)无源振动传感器,传感器可在超高温环境下工作,通过无线非接触测量原理实现振动参数的在线测量.通过MATLAB软件对振动传感器的结构参数进行仿真,利用ANSYS Workbench仿真软件对敏感结构进行建模、静态分析、模态分析和热力学性能分析.结果表明:传感器敏感结构在0～30 gn内能够正常工作;模态仿真一阶频率为1991.4 Hz,与谐响应仿真基本一致;在25～1000℃内,传感器灵敏度随温度升高而增大,1000℃时的灵敏度为0.114 kHz/gn,传感器为超高温环境下振动参数的稳定测量提供了新思路.