偏振无关多模干涉型1×3光功分器的设计

• 作者: 汪静丽 皇甫利国 陈鹤鸣
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 集成光学 多模干涉 偏振无关 三明治结构
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 集成光学|Integrated Optics
• 页码范围: 87-94
• 页数: 8页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202141.0713001

摘要

设计具有宽带性能的偏振无关1×3光功分器,采用离子辅助沉积方法调节三明治结构芯层SiNx的折射率,使得正交偏振模的拍长相等而实现偏振无关;梯形多模干涉波导与锥形波导的组合可实现器件宽带宽、低损耗及良好的分光均匀性.运用有限时域差分法进行建模仿真及参数优化,结果表明:器件的多模干涉波导长度仅为13.2 μm,附加损耗低于0.07 dB,不均匀度低于0.03 dB,0.5 dB带宽高达255 nm,可覆盖S、C、L、U以及部分E波段,在未来集成光学系统中具有较高的应用价值.