基于WGM谐振腔系统的陀螺仪光学检测方法研究

• 作者: 宫旭亮 夏敦柱
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微光机电系统 回音壁模式 品质因数 光栅耦合器 耦合效率
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨|Research & Approach
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)08-0031-04

摘要

提出微光机电系统陀螺仪的光学检测方法,设计了由光栅耦合器、回音壁模式谐振腔和光波导组成的微光学检测器件,实现与盘式谐振陀螺仪的单片集成.理论分析了谐振腔的谱线漂移和耦合机制,通过调整结构参数得到品质因数为5303.1.分析了光栅周期、刻蚀深度、入射角和上包层对光栅耦合器耦合效率的影响,通过不断优化调整最终实现了51.5％的水平耦合.最后对实验测试结果进行讨论.