六甲基二硅胺烷与六甲基二硅氮烷间歇生产过程监控

• 作者: 李智豪 陈子豪 郑年年 栾小丽 刘飞
• 来源期刊: 控制工程
• 学科: 工学
• 关键词: 间歇生产过程 多向主元分析 能耗监控 过程优化
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: 工业过程及控制系统
• 页码范围: 2451-2455
• 页数: 5页
• 分类号: TP277
• 语种: 中文
• DOI: 10.14107/j.cnki.kzgc.CPCC2019-254

摘要

针对间歇生产过程具有的多批次、非线性和动态性特点等,基于多向主元分析,提出一种改进的过程监控和质量一致性方案,并在此基础上实现质量控制与生产优化.进一步以某化工厂的六甲基二硅胺烷(hexamethyldisilane,HMDZ)和六甲基二硅氮烷(hexa-methyldisilazane,HMDS)间歇生产过程为例,详细阐述了其数据采集及预处理、离线建模和在线监控.在HMDZ和HMDS间歇生产过程中各批次间产品质量一致的基础上,所提方法通过对生产单耗的实时监测,实现间歇生产过程的监控与优化.