微热板气体传感器低功耗工作模式研究

• 作者: 朱思鹏 余隽 李中洲 吴昊 唐祯安
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微热板气体传感器 微型无线传感网 脉冲电压 低功耗
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨|Research & Approach
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 分类号: TN492|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)09-0053-03

摘要

微热板气体传感器大多采用金属氧化物半导体气敏材料,通常需要工作在200～500℃的温度下才能获得良好的气敏特性.采用传统的直流电压加热模式时需要消耗数十毫瓦的功耗用于维持工作温度.必须进一步减小气体传感器的功耗,才能使之适用于微型无线传感网等对功耗要求苛刻的应用领域.研究了脉冲电压加热工作模式下微热板气体传感器对(20～100)×10-6乙醇的气敏响应,优化了加热脉冲周期和占空比.实验证明:将微热板功耗降低1个数量级仍能获得良好的气体检测性能.