基于微米SDOCT的玻璃亚表面缺陷散射系数测量

• 作者: 王昌明 高万荣
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 成像系统 散射系数 玻璃亚表面缺陷 单次散射模型 损伤结构
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 散射|Scattering
• 页码范围: 174-179
• 页数: 6页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202141.0729001

摘要

用搭建的微米谱域光学相干层析(SDOCT)系统对玻璃亚表面缺陷进行了深度分辨率、非接触、非破坏性测量,并用建立的单次散射模型对得到的断层图像进行计算,得到玻璃亚表面缺陷的散射系数.实验结果表明,利用散射系数可以有效区分玻璃亚表面不同深度的损伤结构.玻璃亚表面散射系数的深度分辨率测量有利于对玻璃亚表面缺陷光学特性的分析,对于精密光学元件的加工和检测具有重要意义.