一种新型的超纯水系统总有机碳含量检测装置的研制

• 作者: 王思华 秦浩华 郭蓝天
• 来源期刊: 电子测量技术
• 关键词: 紫外氧化法 超纯水 总有机碳含量 嵌入式微控器
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器及非电量检测技术|Sensor and Non-electricity Measurement
• 页码范围: 168-172
• 页数: 5页
• 分类号: TH832
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.2106130

摘要

水中总有机碳含量(TOC)是实验用超纯水的一项重要指标,其测量是否准确,关系到相关实验结果的准确性.针对现有基于紫外氧化法的TOC检测设备中氧化池体积偏大,导致超纯水氧化效率低、时间长,且大多结合NDIR传感器进行二氧化碳含量检测,复杂工艺的引入,导致设备工作过程复杂,降低了测量精度和检测效率等问题,设计一款高效高精度的超纯水TOC检测设备,采用紫外氧化法与电导率法相结合的方式,从氧化池结构人手,设计一款超小体积、结构精密的一体式电导氧化池,通过一系列对比实验得到氧化池的最优体积,兼顾反应速率与精度.基于高性能、低功耗的嵌入式微控制器对设备进行了电控系统的硬件设计和配套软件开发,通过一系列实验证明了本设计在提高检测速率的同时,兼具较高的测量精度同与生产成本,使得该设备具有完全无污染、低耗能、高效高精度、低成本等特点.