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电非对称双频容性耦合CF4/Ar放电电极间距对放电模式和刻蚀剖面的影响
电非对称双频容性耦合CF4/Ar放电电极间距对放电模式和刻蚀剖面的影响
作者:
董婉
徐海文
戴忠玲
宋远红
王友年
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电非对称效应
离子和中性基团的协同作用
电极间距
放电模式
摘要:
容性耦合等离子体技术广泛应用在半导体工业、生物医药、环境等领域,是不可替代的核心处理技术.基于电非对称双频源驱动的容性耦合等离子体因其可以实现离子能量和离子通量的相对独立调控而一直被寄予厚望.本文采用一维流体耦合蒙特卡罗模型和刻蚀槽模型,对基于电非对称效应的双频容性耦合CF4/Ar混合气体放电进行了模拟研究.研究表明,随着电极间距的增大,自偏压的绝对值和电负性均减小.此外,由于放电区域变大但边界损失保持不变,会导致外部馈入功率显著增加和等离子体密度增大.本文采用CF4/Ar混合气体,其中Ar含量很高,气体电负性不是很高,因此放电模式在不同的电极间距下都是 α 模式和双极扩散模式的共同作用.在电极间距逐渐变大的过程中,因为自偏压的变化导致离子能量分布中最大离子能量减小并且离子能量展宽变窄,功率极板处离子通量的变化不明显,中性基团通量的增大十分显著,这些变化最终导致相同时间内的刻蚀速率和形貌发生改变.所以,在未来研究中,不仅离子能量和通量的独立控制,优化离子通量和中性基团通量的协同作用达到调节刻蚀速率、改善刻蚀形貌同样是重要研究内容.
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文献信息
篇名
电非对称双频容性耦合CF4/Ar放电电极间距对放电模式和刻蚀剖面的影响
来源期刊
物理学报
学科
关键词
电非对称效应
离子和中性基团的协同作用
电极间距
放电模式
年,卷(期)
2021,(9)
所属期刊栏目
专题:等离子体物理及其材料处理|SPECIAL TOPIC—Several problems in plasma physics and material treatment
研究方向
页码范围
169-178
页数
10页
分类号
字数
语种
中文
DOI
10.7498/aps.70.20210546
五维指标
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离子和中性基团的协同作用
电极间距
放电模式
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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