应用于谐振式微悬臂梁接口电路的锁相环设计

• 作者: 张博 赵宏亮 冯佳杰 刘兴辉 宦鼎来 赵野
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 接口电路 电荷泵锁相环 压控振荡器
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 87-89
• 页数: 3页
• 分类号: TP212|TN402
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)09-0087-03

摘要

针对谐振式微机电系统(MEMS)微悬臂梁传感器对接口电路自动锁频的需求,设计一种输出幅度约为400mV正弦波锁相环(PLL)电路,与MEMS悬臂梁单片集成构成闭环自激/检测系统.PLL电路设计了一种改进的差分型环形压控振荡器结构,既实现电压控制也可通过电流调控,以及"死区"时间优化的鉴频鉴相器,高匹配的电荷泵等电路.传感器整体电路基于绝缘体上硅(SOI)工艺设计制造,整体接口电路完成芯片测试,锁相环PLL电路可以对100～180 kHz宽输入范围内信号的连续锁定,实现传感器输入信号的精确跟踪,满足传感器检测需求.