基于IC-MU的直线位移传感器研制

• 作者: 杜存玉 安伟 尤丽华
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 绝对式位移传感器 霍尔磁栅 分段线性插值 三次样条插值
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 104-105,109
• 页数: 3页
• 分类号: TP212|TN382
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)08-0104-02

摘要

基于小型化、数字化的传感器设计目标,以集成霍尔芯片IC-MU和磁栅为核心,研制一种新型绝对式直线位移传感器.介绍了基于霍尔芯片的传感器工作原理,给出了传感器结构和电路设计方案,并对传感器样机进行标定.针对传感器的非线性误差,分别采用分段线性插值法和三次样条插值法进行误差补偿.实验结果表明:传感器原始误差为0.014 mm,经两种方法补偿后,误差分别减小到0.0036,0.0030 mm,误差补偿有效.