单电机驱动椭偏双补偿器旋转结构及系统控制

• 作者: 林聪 张瑞 薛鹏 尚琰 刘政杰 徐跃
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 椭偏仪 穆勒矩阵 单电机驱动 双旋转补偿器
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: 激光物理与器件
• 页码范围: 39-43
• 页数: 5页
• 分类号: TN209
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2022.12.039

摘要

针对目前双伺服电机控制补偿器旋转的椭偏测量技术中电机同步旋转控制复杂,且探测器同步信号触发采集困难、长时间运行稳定性差等缺点.提出一种基于单电机驱动的双相位补偿器旋转结构以及控制方法.该结构中与伺服电机连接的同步齿轮的直径比为5∶3,不同的齿轮直径是为实现对双旋转补偿器的差速控制,结合双旋转补偿器椭偏测量理论,实现样品的多维度信息获取;且基于控制理论设计伺服电机驱动电路和信号触发采集电路,完成相关硬件方面设计.最终实现系统在长时间运行过程中补偿器转速稳定可控,一次测量可得穆勒矩阵16个参数,为椭偏测量样品各维度信息提供理论依据及技术支撑.