一种适用于电子气工厂的新型制氮机工艺研究

• 作者: 邓韬 王开兵 钟小禹 刘巍 王君 全诗林
• 来源期刊: 广州化工
• 关键词: 制氮机 氧氮精馏 可持续供气
• 年，卷（期）: 2021,（11）
• 所属期刊栏目: 生产技术
• 页码范围: 115-117
• 页数: 3页
• 分类号: TQ914.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9677.2021.11.037

摘要

目前,随着电子气行业对氮气的性能要求越来越严苛,需要氮气设备具有包括氮气供应连续性、氮气供应可靠性及氮气产品杂质含量等要求.现有的制氮机往往很难全方位满足电子气供气要求,本文主要论述了一种适用于电子气工厂的新型制氮机,具有宽泛的负荷调节范围,可节约能耗,可保证氮气供应的连续性及可靠性,且无需增设纯化器即可保证氮气产品纯度,关键设备一用一备,可避免设备宕机对制氮供气的影响,保证供气系统的可持续性.