基于多特征组合的光学元件表面疵病检测

• 作者: 薛彬 吴志生 孟庆森
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱原理 高斯平缓曲线去噪 提取角点 图像拼接融合 疵病特征提取
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: 图像处理
• 页码范围: 108-113
• 页数: 6页
• 分类号: TN215
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2022.12.108

摘要

采用目前方法对光学元件表面疵病检测时,由于没有利用光谱原理技术来获取光学元件的表面图像,导致检测方法的检测精度低、图像清晰度低、准确率低和判别正确率低,因此,提出基于多特征组合的光学元件表面疵病检测方法.首先利用光谱原理获取光学元件表面的图像,再结合高斯平滑曲线进行去噪预处理,采用Plessey算法进行角点的提取和匹配完成图像的拼接融合,之后再进行疵病的特征提取,计算疵病所占面积,从而完成光学元件表面疵病检测.实验结果表明,所提方法的检测精度高、图像清晰度高、准确率高和判别正确率高.