基于纳秒激光的金属薄膜微加工技术分析与实验研究

• 作者: 曹歧平
• 来源期刊: 机床与液压
• 关键词: 纳秒激光 金属薄膜 刻划工艺
• 年，卷（期）: 2021,（16）
• 所属期刊栏目: 试验与研究|TEST & RESEARCH
• 页码范围: 67-70,75
• 页数: 5页
• 分类号: TG665
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2021.16.014

摘要

针对金属薄膜加工中材料热变形大、加工质量差等问题,提出基于纳秒激光的微加工技术.对激光加工汽化机制及热传导理论进行分析;以铝箔为例建立ABAQUS本构模型,对其热变形规律进行仿真分析;基于纳秒激光实验台对钛合金薄膜进行刻划实验,研究不同加工参数对工件表面质量的影响规律.结果表明:在激光加载初期,脉冲激光对材料汽化作用较为明显;随着激光加载时间的延长,热影响区域逐渐增大;沟槽深度随着热源移动速度的增加而逐渐降低,随着激光功率的增加而逐渐变大;仿真和实验结果的平均误差不超过5％.研究结果有助于纳秒激光加工技术的发展.