基于MEMS的微热板结构仿真优化研究

• 作者: 沈伟强 杨俊超 马薇 张根伟 杨杰 曹树亚
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 气体传感器 有限元仿真 微机电系统 微热板 结构优化
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨|Research&Approach
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TP391.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)12-0017-05

摘要

金属氧化物半导体气敏传感器是气体传感器领域研究的热点内容,而微热板作为金属氧化物半导体气体传感器的重要组成部分之一,对微热板结构及稳态热特性的研究至关重要.为了研究不同结构参数对微热板性能的影响,为微热板的设计优化提供指导,基于微机电系统(MEMS)工艺技术,设计了一种悬浮式结构微热板,对微热板支撑层和隔离层的材料组成、膜层厚度等因素进行了仿真研究.根据仿真结果,分析上述因素对微热板性能的影响趋势,得出了最优的参数设计.